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氣體流量控制器在半導體行業的應用

2022-04-14 10:15:25

ACU10FD系列產品專門為半導體設備設計，其主要特點是產品穩定性好、精度高、零漂小、響應速度快。同時考慮到半導體設備對于顆粒和污染的高要求，產品所有與氣體接觸的表面均為金屬，同時所有與氣體接觸的金屬表面均進行了嚴格的表面處理，并且所有產品均在潔凈環境中組裝、標定。產品同時支持數字、模擬電壓、模擬電流的信號輸入和輸出，支持MODBUS485/232等通訊協議，客戶可以根據自己的需要選擇使用。

同時ACU10FD系列產品重點考慮了產品的抗干擾能力，產品可以抵抗較強的電磁干擾。