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載譽(yù)收官｜ACCU亮相 CSEAC 2026無(wú)錫半導(dǎo)體展！

2026-09-03 17:21:15


太湖之濱，啟新程。2026年8月31日至9月2日，第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展（CSEAC 2026）于無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心盛大啟幕。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)同仁匯聚于此共探產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與高質(zhì)量發(fā)展新機(jī)遇。


一、聚焦行業(yè)前沿 精彩亮相



北京精量科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“ACCU”）作為精密流體測(cè)控領(lǐng)域的專業(yè)制造商，攜核心產(chǎn)品與定制化解決方案重磅亮相本次盛會(huì)，依托自主核心技術(shù)，彰顯展現(xiàn)國(guó)產(chǎn)精密流體測(cè)控設(shè)備的硬核實(shí)力。

二、精準(zhǔn)適配嚴(yán)苛工藝需求

在半導(dǎo)體制造工藝中，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是光刻、化學(xué)氣相沉積（CVD）、刻蝕、離子注入、擴(kuò)散等核心工序的關(guān)鍵核心部件。其測(cè)控精度、穩(wěn)定性與響應(yīng)速度，直接決定晶圓膜層均勻性，深刻影響芯片良品率與產(chǎn)品性能，是半導(dǎo)體前道制造中不可或缺的核心設(shè)備。
展會(huì)上，ACCU集中展示涵蓋氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)、科里奧利質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)、壓力控制器、氣液混合蒸發(fā)器在內(nèi)的系列核心產(chǎn)品。

其中，自主研發(fā)的ACU20FE系列科里奧利質(zhì)量流量控制器基于經(jīng)典科里奧利原理，該產(chǎn)品無(wú)熱漂移，溫漂與時(shí)漂可忽略不計(jì)，氣體測(cè)量精度達(dá)±0.5%F.S.，液體測(cè)量精度達(dá)±0.25%F.S.，量程覆蓋0~(20g/h...1000kg/h)，適配寬范圍流量工況。即使面對(duì)壓力、溫度、密度、電導(dǎo)率和粘度等復(fù)雜工況波動(dòng)下，依舊能保持穩(wěn)定、精準(zhǔn)的測(cè)控性能。同時(shí)展出的ACU20P系列壓力控制器采用直通式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，壓力控制的量程范圍從100Pa到40MPa（絕壓和表壓皆可），具備精確度高、重復(fù)性好、快速穩(wěn)定等核心優(yōu)勢(shì)，同時(shí)設(shè)備兼容RS485/232 Modbus、Profibus、DeviceNet等多種數(shù)字通訊協(xié)議，可快速適配各類產(chǎn)線設(shè)備。

此外，ACU20CEM氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)也引發(fā)廣泛關(guān)注。該系統(tǒng)由液體流量控制器、氣體質(zhì)量流量控制器、溫度可調(diào)混合蒸發(fā)器等組成，通過(guò)先進(jìn)控制技術(shù)實(shí)現(xiàn)液體流量、載氣流量與蒸發(fā)溫度的精密測(cè)控，長(zhǎng)期運(yùn)行下氣液摩爾比保持穩(wěn)定無(wú)偏移，完美適配半導(dǎo)體薄膜沉積等高精度氣液混合工藝場(chǎng)景。

三、核心器件自主可控


硬核產(chǎn)品的背后，是ACCU深厚的自主研發(fā)實(shí)力與技術(shù)積淀。公司不僅具備高水平的研發(fā)能力，擁有多項(xiàng)發(fā)明專利與軟件著作權(quán)，更實(shí)現(xiàn)核心器件的全面自主可控。目前，ACCU自主生產(chǎn)研發(fā)了應(yīng)用于科里奧利、熱式、層流差壓式三大原理的高精度質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)，以及工業(yè)級(jí)精密壓力控制器，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏新能源、氫能、環(huán)保、生物醫(yī)藥、石油化工、核能電力等國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域，可全面覆蓋實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、規(guī)模化量產(chǎn)的全場(chǎng)景精密流體測(cè)控需求。
展會(huì)期間，ACCU展臺(tái)持續(xù)保持高人氣。業(yè)界專家、晶圓制造企業(yè)代表、科研院所團(tuán)隊(duì)及專業(yè)觀眾絡(luò)繹而至，眾多訪客駐足展臺(tái)，深度咨詢產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)、工藝適配方案及落地應(yīng)用案例，圍繞精密流體測(cè)控技術(shù)展開(kāi)深入研討，多家企業(yè)表達(dá)明確合作意向，充分印證了ACCU在半導(dǎo)體前道高端裝備領(lǐng)域扎實(shí)的技術(shù)實(shí)力與持續(xù)提升的行業(yè)影響力。

四、展會(huì)落幕 步履不停
未來(lái)，ACCU將始終以技術(shù)創(chuàng)新為核心引擎、產(chǎn)業(yè)協(xié)同為發(fā)展路徑，持續(xù)深耕半導(dǎo)體前道核心技術(shù)攻堅(jiān)，聚焦半導(dǎo)體設(shè)備復(fù)雜工況需求，始終專注于精密流體測(cè)控的自主研發(fā)與制造。針對(duì)不同介質(zhì)、高精度需求、真空及高壓等差異化工況，ACCU可提供定制化流體測(cè)控解決方案，全面覆蓋半導(dǎo)體晶圓加工、真空設(shè)備、新能源等核心應(yīng)用場(chǎng)景，全方位兼顧設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性、測(cè)控精準(zhǔn)度與場(chǎng)景適配性。

展會(huì)落幕，初心不改，步履不停。ACCU將繼續(xù)深耕精密流體測(cè)控賽道，堅(jiān)守自主創(chuàng)新、精益求精的研發(fā)理念，打磨硬核產(chǎn)品，以可靠的技術(shù)與產(chǎn)品，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)升級(jí)，為中國(guó)芯片高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)力量。